1. 金屬靶:鈦靶,鉻靶、鋯靶、鎳靶、銅靶、不銹鋼靶、硅靶、氧化鈮靶、氧化鈦靶、鋁 靶、金靶、銀靶、鈀靶、鉑靶、錫靶、鎢靶、鈮靶、釩靶、鉬靶、鎂靶、鉍靶
2. 合金靶材:
1) 鈦鋁 合金靶材 (67:33,50:50,70:30,80:20,at%)
2) 鎢鈦 合金靶材 (90:10,95:5wt%),
3) 鎳釩 合金靶材 (93:7,wt%)
4) 鎳鉻 合金靶材 (80:20, 70:30,95:5wt%),
5) 鋁鉻 合金靶材 (70:30,50:50at%)
6) 鈦鋯 合金靶材 (50:50wt%)
7) 硅鋁 合金靶材 (90:10,95:5,98:2,70:30,wt%)
8) 鋅鋁 合金靶材
9) 銀合金
10)金合金靶材 (70:30, 50:50,67:33,at%)
11) 鎳銅合金靶材 (70:30,80:20,wt%)
12)鉬鈮 合金靶材
13)鈦硅 合金靶材
14)鈦鋁硅 合金靶材 (Ti/Al/Si=30/60/10, 33/67, 40/50/10 ,wt% and at%)
15)鉻鋁硅 合金靶材 (Cr/Al/Si
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